微懸臂梁陣列傳感技術系統設計.pdf

1、微懸臂梁傳感技術是一種新式傳感檢測技術，涉及機械學、電學以及力學等交叉學科。微懸臂梁傳感技術作為一種檢測便捷、靈敏度高、無需標記的新型傳感技術在化學、生物和材料等領域中獲得了廣泛的應用，已逐步成為微納傳感檢測技術領域的研究熱點，受到了科研人員的普遍關注。在單微梁傳感檢測系統的基礎上，微梁的檢測范圍及檢測內容越來越廣泛，這項新型傳感檢測技術正向著高通量和陣列式測量等方向發(fā)展，這就需要解決如何在微梁陣列傳感技術中實現對至少兩根微梁的掃描及響

2、應信號讀取這一關鍵問題。
　　本文針對國內外微懸臂梁陣列傳感器的光學讀出檢測方式進行了系統地研究，在此工作基礎上確定了研究內容。我們針對光學讀出方式提出了基于平動掃描方式的微懸臂梁陣列檢測系統的可行性方案。利用電動位移平臺帶動平面鏡進行往復式平動，從而使激光器發(fā)射出來的激光束進行往復平動，再用該激光束對微懸臂梁陣列進行掃描，繼而用光電位置敏感探測器時序接收微懸臂梁的彎曲偏轉信號，從而完成對各微懸臂梁上產生的實時反應信息的監(jiān)測。

3、r>　　本文首先綜述了微梁傳感技術發(fā)展的歷史，并重點描述了現有基于光學讀出的微懸臂梁陣列傳感技術的研究進展和發(fā)展方向，介紹了基于平動掃描方式的微梁陣列檢測系統方案的思路來源。之后在已有工作基礎上，詳細討論了基于平動掃描的微懸臂梁陣列傳感器實驗研究方法，闡述了方案的工作原理，并介紹了系統結構設計及參數優(yōu)化。
　　針對基于平動掃描的微懸臂梁陣列傳感器的信號采集和處理系統，本文采用虛擬儀器技術。在LabVIEW圖形化編程軟件環(huán)境下利用調