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文檔簡介
1、本文收集與查閱了大量微位移機(jī)構(gòu)資料,對國內(nèi)外的研究狀況做了介紹,并對最新微位移機(jī)構(gòu)做了闡述與比較,在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了一種無耦合運(yùn)動(dòng)的二自由度微位移工作臺(tái),該結(jié)構(gòu)便于微位移工作臺(tái)尺寸的小型化。本文推導(dǎo)了工作臺(tái)載荷與位移的關(guān)系式:采用有限元方法對工作臺(tái)的三維模型進(jìn)行了仿真計(jì)算,得到該工作臺(tái)對應(yīng)于載荷的位移和應(yīng)力值,并運(yùn)用逐步回歸分析的方法建立了微動(dòng)工作臺(tái)的數(shù)學(xué)模型。在二自由度微動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,探索性地設(shè)計(jì)了一款三自由度微位移工作臺(tái),并運(yùn)
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