主動隔振系統(tǒng)傳感器信號調理技術研究.pdf

1、主動隔振技術較被動隔振技術而言能獲得更大的隔振帶寬及更小的振動傳遞率，主動隔振器廣泛用于IC 制造設備和高精密測量設備，其隔振性能直接影響到這些設備的加工或測量精度。傳感器是主動隔振系統(tǒng)的重要組成部分，影響振動主動控制的精度和帶寬。因此，研究主動隔振系統(tǒng)傳感器信號調理技術有其特定的重要性及實用價值。
　　 本文分析了主動隔振系統(tǒng)對傳感子系統(tǒng)的需求，對工程中廣泛使用的各類位移和速度傳感器的工作特性進行了比較分析，確定了相關傳感器的

2、選型配置方案和關鍵技術指標。
　　 建立了包含測量、放大、傳輸和串聯(lián)校正環(huán)節(jié)在內的測振模型，分析了影響該類傳感器測振帶寬的因素，并對其低頻擴展的方法及實現(xiàn)途徑進行了探討，分析比較了各種方法的優(yōu)缺點，為最終選擇擴展濾波作為絕對速度傳感器低頻擴展實現(xiàn)方案提供了依據(jù)。
　　 基于測振模型及誤差理論分析了電氣噪聲對絕對速度傳感器低頻擴展范圍的影響，得出了測量現(xiàn)場電氣噪聲水平與絕對速度傳感器低頻擴展可獲得的極限頻率的函數(shù)表達式，為