真空微電子加速度傳感器控制與檢測電路設計與實驗.pdf

1、高精度微型加速度傳感器是近年來加速度傳感器研究的熱點，加速度傳感器的控制與信號檢測電路是高精度微型加速度計不可或缺的核心技術。
　　論文在分析國內外加速度傳感器信號處理電路研究現狀的基礎上，系統(tǒng)深入的重慶大學微系統(tǒng)中心研制的真空微電子加速度傳感器的結構與工作原理，以及在靈敏度、噪聲以及穩(wěn)定性等方面存在的問題，建立了真空微電子加速度傳感器的 PID閉環(huán)控制模型；在系統(tǒng)分析真空微電子加速度傳感器的噪聲基礎上，基于微弱信號檢測理論，提出

2、了基于調制和相干解調算法的信號檢測新方法；基于真空微電子加速度傳感器專用ASIC電路，完成了控制與檢測電路設計與裝調，研制出真空微電子加速度傳感器的控制與檢測電路。測試結果表明：研制的真空微電子加速度計閾值電壓為0.7v，發(fā)射電流達到100uA，靈敏度為1.06206V/g，非線性度為0.9％，工作帶寬約為120Hz，穩(wěn)定性得到了顯著改善。
　　論文的主要研究工作是：
　?、偕钊敕治隽苏婵瘴㈦娮蛹铀俣葌鞲衅鞔嬖诘撵`敏度、噪聲

3、以及穩(wěn)定性等關鍵技術問題，確定了真空微電子加速度傳感器控制與檢測系統(tǒng)的總體方案；
　?、诜治隽苏婵瘴㈦娮蛹铀俣葌鞲衅髅舾薪Y構的力學特性，建立了敏感結構的理論模型。根據真空微電子加速度傳感器的結構及工作原理，建立了加速度傳感器的PID閉環(huán)控制系統(tǒng)模型，提出了加速度傳感器的控制電路方案；
　?、巯到y(tǒng)分析了真空微電子加速度傳感器的信號特點、噪聲特性以及來源，基于微弱信號檢測原理，提出了基于調制和相干解調算法的傳感器信號檢測和處理方