提高并行共焦探測精度的方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　隨著MEMS技術的不斷發(fā)展，越來越多的微器件需要進行精密三維測量。如何快速準確檢測微觀輪廓形貌，已成為現(xiàn)代精密測試技術與儀器研究的重要課題，所研究的并行共焦探測方法是使微小輪廓的快速高精度檢測成為可能?！　”卷椖縼碓从趪易匀豢茖W基金項目“納米三座標測量機關鍵技術的研究”和教育部科學技術研究重點項目“基于微光學的多功能三維探測頭的研制”。本論文首先概述了并行共焦探測的工作原理和系統(tǒng)的總體結構，然后詳細闡述了系統(tǒng)的光路設計及裝調結構

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