超突變結變容二極管設計與工藝技術研究.pdf

1、變容二極管是一種結電容隨外加偏壓非線性變化的二極管，其可實現(xiàn)微波變頻、壓控振蕩等。對于一個給定的電壓變化，超突變結變容二極管比突變結變容二極管提供更大的電容變化，此外在有限電壓范圍內，還具有頻率與電壓的線性特征?；诠韫に嚨某蛔兘Y變容二極管在商業(yè)電視調諧器、軍用電臺調諧器等中有許多應用。
　　 論文介紹了超突變結變容二極管的理論基礎，詳細討論了超突變結變容二極管的幾何結構、濃度分布、工藝參數(shù)、電學參數(shù)等的設計方法；采用TCAD

2、軟件完成了超突變結變容二極管的結構、電性能、工藝參數(shù)等的設計；在中國電子科技集團第五十五研究所微波毫米波兩端器件硅工藝線上，分別利用離子注入-擴散法和雙離子注入法完成器件制作，詳細討論了關鍵工藝的解決辦法，提高了的工藝重復性和成品率；采用此設計和工藝方法大大縮短了研制周期、降低了生產成本；最后介紹了器件的測試方法和可靠性試驗。
　　 采用此設計和工藝方法生產的系列產品可提供各種封裝形式，具備提供多種質量等級成品器件的能力，產品質