MEMS光開關執(zhí)行器——平行電容板結構的理論研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光開關是實現全光網絡的關鍵器件，本文對MEMS光開關執(zhí)行器－平行電容板結構進行理論研究，建立了靜態(tài)方程，得出了上極板偏轉角度與驅動電壓的關系和驅動電壓與平行電容板結構幾何參數的關系。并對平行電容板結構進行了動態(tài)分析，導出了響應時間影響因子的計算公式，分析研究了響應時間的各種影響因素。　　 將脈沖電壓驅動應用于平行電容板結構，用PWM技術對脈沖電壓的寬度進行調制，建立了在脈沖電壓驅動下的理論分析模型。理論分析結果表明：脈沖電壓的調

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