SFD-28”油擴散泵性能的研究.pdf

1、油擴散泵是一種廣泛應用于電子、冶金、化學、原子能等工業(yè)部門和空間技術等科學研究領域的高真空獲得設備，其結構簡單，沒有機械轉動，無振動，無噪音，操作方便且能反復循環(huán)使用，便于維護，使用壽命長，因此很受用戶的青睞。但國內擴散泵產品與國外同類產品相比較，在抽速、返油率等主要性能指標上還存在較大差距。 為了進一步研究擴散泵的性能，本文深入分析和討論了擴散泵的抽氣機理和返油原因，運用理論與實踐相結合的方式，對SFD-28”直腔矮擴散泵進行

2、了成功的結構改進和調試，其性能達到國際同類產品的領先水平。據此總結出的幾點結論，對深入研究擴散泵理論具有一定指導作用。 同時，為了簡化擴散泵的設計計算，擺脫手工計算的繁瑣和誤差，本次研究中運用Visual Basic 6.0開發(fā)出了擴散泵設計軟件。將本軟件用于SFD-28”擴散泵的設計和改進，取得了良好效果。從而，提高了產品設計效率，縮短了產品開發(fā)周期，對生產企業(yè)產品改進和新產品開發(fā)具有實際意義。 得出的主要結論如下：

3、 (1) 一級噴嘴的尺寸直接影響擴散泵的抽速和返油量。慎選一級噴嘴直徑。選擇合適的何氏系數(shù)確定一級噴嘴尺寸。 (2) 擴散泵泵芯中各級噴嘴的間隙調節(jié)直接對泵的性能產生影響。一級噴嘴間隙主要決定泵的抽速，一級噴嘴間隙與后級噴嘴間隙的配合決定了泵的負載能力。最后一級噴嘴間隙對臨界背壓的影響較大。 (3) 對于擴散泵返油的抑制要從兩方面著手。一是減少一級噴嘴附近附面層處的返油，二是減少蒸汽射流上界面的返油。慎選一級噴嘴間